各種石英玻璃及其制品、氟化鈣晶體等 新材料研發(fā)、生產(chǎn)和銷(xiāo)售
產(chǎn)品在國(guó)內(nèi)航天航空、精密光學(xué)和半導(dǎo)體等領(lǐng)域已得到廣泛應(yīng)用
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產(chǎn)品中心
光學(xué)石英材料
合成石英玻璃牌號(hào)ZS，即以前所稱(chēng)的JGS1，一般采用化學(xué)氣相沉積法（CVD），將氣態(tài)高純四氯化硅在氫氧火焰中水解和熔融制成，大尺寸坯片還需高溫槽沉獲得。其特點(diǎn)是紫外至近紅外波段透過(guò)率高，200 nm透過(guò)率高達(dá)90%以上。且產(chǎn)品無(wú)熒光，無(wú)氣泡，無(wú)條紋，應(yīng)力可達(dá)2 nm/cm，是普通光學(xué)材料所不可代替的。因?yàn)楫a(chǎn)品含有1100 ppm左右的羥基，導(dǎo)致其在紅外波段（特別是2730 nm）有較強(qiáng)的吸收。
熔融石英玻璃，是用氫氧火焰熔融高純石英砂制成的透明石英砣，經(jīng)熱整形得到規(guī)格更大、均勻性更好的石英錠和石英板，再經(jīng)精密退火獲得更好應(yīng)力（≤3nm/cm）。其特點(diǎn)是熱膨脹系數(shù)低（5.5×10-7）、熱穩(wěn)定好、物理機(jī)械性能強(qiáng)，主要用于惡劣環(huán)境下的大中型反射鏡。
紅外石英玻璃牌號(hào)HS，即以前所稱(chēng)的JGS3，一般由電熔或等離子體（PCVD）工藝制造。其最大優(yōu)點(diǎn)是羥基含量極低（≤1ppm），在2730nm波段無(wú)吸收，彌補(bǔ)了合成石英玻璃的不足。等離子體工藝制得的高純石英玻璃可在全光譜波段（190nm～3500nm）使用。
半導(dǎo)體石英材料
高純石英玻璃采用CVD或PCVD法制得。該產(chǎn)品具有純度高、無(wú)氣泡、無(wú)條紋的特性，且無(wú)熒光、物理性能優(yōu)越（見(jiàn)表），應(yīng)力可達(dá)2nm/cm以?xún)?nèi)。根據(jù)生產(chǎn)工藝的不同羥基含量有所差異，可滿(mǎn)足不同客戶(hù)需求。
采用火焰熔融法，生產(chǎn)透明石英圓砣?？杉庸こ赏该魇A片、方片、法蘭等，用于視窗及半導(dǎo)體石英配件等材料。也可以經(jīng)過(guò)再次熱整形（槽沉）得到特殊規(guī)格的透明石英錠、石英板；同時(shí)還可以通過(guò)拉制工藝制成透明石英管、石英棒。用于半導(dǎo)體配件材料、光導(dǎo)纖維制造輔料。
低羥基石英玻璃采用等離子火焰法工藝制造，可生產(chǎn)圓砣后經(jīng)過(guò)再加工成石英片、石英法蘭、石英管、石英棒等。優(yōu)點(diǎn)是羥基含量低（≤8ppm），被廣泛用于半導(dǎo)體配件材料。
采用旋轉(zhuǎn)工藝，生產(chǎn)特殊壁厚的乳白石英管材，可作為焙燒爐管及隔熱用材料；采用氣煉工藝生產(chǎn)不透明石英玻璃，可加工成乳白石英板。有著良好的隔熱和耐溫性能，主要應(yīng)用于半導(dǎo)體加工中的隔熱配件。
新聞資訊
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